超精密技術について、基本となる研削・研磨、ナノ・マイクロデバイス形成、半導体加工技術から、様々なデバイスの創成、洗浄、表面計測、材料評価までを集大成した。斯界の第一線の研究者・技術者からなる将来加工技術第136委員会により、技術開発の最新の成果を明らかにするとともに、将来への発展に資するもの。