内容紹介
最先端のプラズマ技術とその応用がわかる
マイクロプラズマは、必要な場所に必要な性質のプラズマを生成させようというもので、材料プロセスや化学分析・センサ、プラズマディスプレイ、環境やバイオ・医療など、幅広く応用が期待されている。
本書は、学生や研究者・技術者の教科書となるよう、マイクロプラズマの科学と技術を、基礎から応用まで体系的に解説。
このような方におすすめ
企業・研究機関・大学等のプラズマ関係の研究者・開発者
電気・電子、物理、応用物理、材料関係の大学院生
目次
主要目次
第1章 序 論
第2章 微小空間高密度媒質中での放電プラズマ現象
第3章 マイクロプラズマの生成技術
第4章 マイクロプラズマの診断とシミュレーション
第5章 マイクロプラズマの応用