内容紹介
LSIテスティングに関してまとめたわが国初のハンドブック！
LSIの高密度化にともない重要となっているLSIテスティングに関する技術全般を整理して体系化したこの分野で初めてのハンドブック。
LSIのプロセス、テストや装置分野の研究者・技術者を対象に、LSIのテストに関する理論と技術および装置全般を解説。
目次
主要目次
第１章 ＬＳＩ製造工程と検査・解析
１．１ 設計工程：テスト設計
１．２ マスク製造工程
１．３ デバイス製造工程
１．４ 組立工程
１．５ 検査工程
第２章 歩留り解析
２．１ 歩留り解析
２．２ マスク解析
２．３ ウェーハ解析
２．４ インライン検査
第３章 故障解析
３．１ 故障現象概論
３．２ 故障解析フロー
３．３ PKGレベル解析
３．４ ソフトによる絞込み（故障診断）
３．５ ハードによる絞込み
３．６ 物理化学解析
第４章 ツールの原理
４．１ 光
４．２ Ｘ線
４．３ 電子線関係
４．４ イオン関係
４．５ SPM関係
４．６ その他